「核爆弾級の制裁」に直面した中国半導体

最近世界の半導体製造設備市場では中古品の価格が新品水準に値上がりしているそうです。売り物さえ出れば、中国企業が価格不問で買い取るため、そんな現象が起きているというのです。

　2月に入り、全世界の目は米国による中国偵察気球撃墜に集中していますが、中国産業界にとっては米国、日本、オランダの3カ国が半導体製造設備の対中輸出規制で合意したことこそが尻に火がつくほど深刻な問題なのです。

　米商務省は昨年10月、14ナノメートル以下の先端半導体を生産するのに必要な製造設備の対中輸出を禁じました。それに日本とオランダも同調しました。3カ国は世界の半導体製造設備市場でシェア90％以上を占めています。事実上、中国の半導体産業を封鎖したことになります。今回の制裁で中国半導体産業が世界レベルに追い付くのに20年以上かかるとの分析が示されています。そのため、制裁が本格化する前に関連設備を一つでも多く買おうと、中古設備の買い占めが起きているのです。

■米国に続き、欧日も門戸閉ざす

　3カ国は数カ月の協議を経て、1月末に半導体製造設備の対中輸出規制で合意しました。具体的な内容はまだ公表されていませんが、専門家は昨年10月に米国が打ち出した制裁が基準になるとみています。米国は14ナノメートル以下のロジックIC、18ナノメートル以下のDRAM、128段以上のNAND型フラッシュメモリーの生産に使われる設備と資材の輸出を禁止しました。

　半導体は薄いシリコンウエハーの上にナノ単位の微細な回路を刻んで作ります。不純物が付着しないように表面を洗い、真空状態で蒸気状の金属化合物や感光剤をコーティングしてから、その表面に光を当てて回路を描く数百の複雑な工程があります。洗浄、蒸着、エッチング、イオン注入、露光などと呼ばれる一連の工程には多くの先端設備が必要となりますが、90％以上を3カ国が供給しています。

　2019年から米国による半導体制裁が本格化し、中国は半導体関連の設備・素材確保で困難に直面してきました。しかし、日本や欧州はまだ門戸を開いていて、それでも抜け道はありました。今回の制裁で最後のドアさえ閉まってしまったのです。

■「石器時代」に回帰する中国半導体

　最も重要な設備は光でウエハーの表面に回路を描く露光装置です。7ナノメートル以下の微細工程による製品を生産するには、オランダのASMLが供給する極端紫外線（EUV）露光装置が必須です。サムスン電子の李在鎔（イ・ジェヨン）会長が随時ASMLの最高経営責任者（CEO）に会い、関係を深めるのも、その設備が重要だからです。

　EUVの前段階の製品である深紫外線（DUV)露光装置も依然として多く使われていますが、DUVでも一部の最新設備は14ナノメートル半導体まで生産が可能だそうです。今回の合意ではその最新DUV機種も輸出禁止品目に含まれるということです。

その設備の入手が難しくなれば、中国は28ナノメートル以上の旧型半導体だけしか独自生産できないレベルへと後退することになります。中国の半導体製造装備の自給率は約20％にすぎません。

　2020年現在で露光装置の世界シェアは、ASMLが63％、日本のキヤノンが30％、ニコンが7％をそれぞれ占めています。オランダと日本の企業が100％を掌握している市場なのです。中国では上海微電子装備集団（SMEE）が露光装置を生産しているものの、90ナノメートル級の装置だそうです。

■3カ国の世界シェア91％

　半導体製造設備の市場全体で見れば、シェアは米国が41％、日本が32％、欧州が18％、韓国が4％（19年時点）などの順です。米日欧の合計シェアは91％です。3カ国が力を合わせれば、中国は先端半導体製造設備市場へのアクセスが事実上不可能になります。

　台湾紙の自由時報は今回の規制合意を「核爆弾級の制裁」と報じましたが、誇張ではありません。一部の中華圏メディアは「中国の半導体産業に対する絞首刑」と書きました。

　中国は強硬に反発しました。中国外務省は「市場経済原則と国際貿易規則に反する露骨な科学技術覇権主義だ」と批判。昨年12月には米国の半導体制裁が不公正貿易に当たるとして世界貿易機関（WTO）に提訴しました。

■遠のいた半導体自立

　今回の制裁は米中競争の過程で起きましたが、中国が自ら招いた側面が少なくありません。中国が昨年兵器用に転用できる半導体をロシアに大量輸出し、欧州の危機感を高めたのです。

　オランダはそれまで中国への半導体製造設備の禁輸措置に否定的な立場でした。自国企業の経済的利益に言及し、首相と担当閣僚が露骨に拒否の姿勢を表明したこともありました。ASMLは中国市場での売り上げが全体の約16％を占めています。日本企業も中国向けの売り上げが25％前後に達します。　

　米国はロシアのミサイルに搭載される半導体部品などを中国が供給している点を挙げ、輸出規制への合流を説得したということです。ウクライナ戦争早期終結のために封鎖措置が必要だと訴えたのです。

　中国は年間の半導体輸入額が4000億ドル以上で、原油輸入を上回ります。米国に匹敵する軍事力を構築し、高付加価値産業を育成するには半導体分野の躍進が急務です。中国紙・環球時報は「中国は毎年平均100本の半導体生産ラインを新設しているが、米国の制裁で工場建設を延期するか、旧工程に転換しなければならない状況になった」と報じました。

崔有植（チェ・ユシク）朝鮮日報東北アジア研究所長